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태양광/FA

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System개요

본 설비는 Tandem 박막 태양전지의 TCO(P1), 광 흡수층(P2), Metal층(P3)의 패터닝을 위한 Laser Scriber 개발 대면적 Scriber 설비임.

Specification

구분 기본사양 비고
대응 LCD Panel 31.5” ~ 65”
Working Distance 31.5”(1,400mm) ~ 65”(3,000mm)
설비 Size 4000mm(W) x 2500mm(D) x 1800mm(H)
Stage(X-Y축) Type Linear motor (Core)
Acceleration X축:1G / Y축:0.5G
Stroke X축:800mm / Y축:2400mm
Straightness ±10um
Repeatability ±2um
P1/P2/P3 Scribing Application P1 scribe width 60 um 기준
P2 scribe width 80 um 기준
P3 scribe width 80 um 기준
P1 ~ P2 간격 < 100 um
P2 ~ P3 간격 < 100 um
Scribing speed required Laser < 1500 mm/s
Mecha = 500 mm/s